仪器介绍: 一 技术参数:
放大倍率 |
×10~×100,000 (底片倍率) ×25~×250,000 (显示器倍率) |
加速电压 |
5 kV、10 kV、15 kV |
图像信号 |
背散射电子 二次电子 合成 (背散射电子+二次电子) |
真空模式 |
导电体 (仅限背散射电子) 标准 减轻荷电 |
图像模式 (背散射电子) |
标准(BSE)、阴影像1、阴影像2、凹凸形貌像 |
电子枪 |
预对中型 钨灯丝 |
探测器 |
背散射电子: 高灵敏度4分割背散射电子探测器 二次电子: 高灵敏度低真空二次电子探测器 |
图像自动调整功能 |
自动启动、自动聚焦、自动亮度调整 |
操作辅助功能 |
电子束旋转、预设倍率(3级) 电子束偏转(±50 µm @ WD6.0 mm) |
二 主要特点及应用: 1.可根据观察目的设置仪器:样品仓内的真空度及加速电压有多种选择,可根据需求自行设置。 2.寻找目标位置:指确认正在观察的样品位置和寻找要观察的样品位置的操作。一般情况下,电子显微镜放大倍率较高,不仅仅需要观察局部图像,还要观察整体的图像。 3.双轴马达台:根据操作人员的观察需求,可自动将样品移动到SEM图像拍摄位置的装置。 三 应用范围: 广泛应用于材料科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。 |